دستگاه تشخیص نشت هلیوم خلاء گواهینامه CE برای صنعت نیمه هادی

آشکارساز نشت هلیوم SFJ-16M

شاخص های عملکرد






 

حداقل نرخ نشت قابل تشخیص
(Pa·m³/s) / حالت خلاء

حالت خلاء (ULTRA): 5.0×10^-13 Pa·m³/s (سرعت پمپاژ هلیوم >5 لیتر بر ثانیه)
حالت خلاء (FINE): 1.0×10^-12 Pa·m³/s (سرعت پمپاژ هلیوم 2.5 لیتر بر ثانیه)

حداقل نرخ نشت قابل تشخیص
(Pa·m3/s) / حالت اسنیفر

5.0×10^-8 Pa·m³/s

زمان پاسخ (ثانیه)

<1

زمان راه اندازی (دقیقه)

≤95s

محدوده تشخیص نشت
(Pa·m³/s)

5.0×10^-13~1.0×10^-3 Pa·m³/s

محدوده نمایش نرخ نشت
(Pa·m³/s)

1.0×10^-13~1.0×10^-3 Pa·m³/s

حداکثر فشار تشخیص نشت مجاز (Pa)

1500

کیفیت قابل تشخیص

2,3,4 (H2, He3, He4)

پیکربندی پایه










 

رابط انسان و ماشین

صفحه نمایش لمسی LCD رنگی 5 اینچی

منبع یون

2 عدد، اکسید ایتریم با روکش ایریدیوم، تعویض خودکار

رابط ورودی/خروجی I/O

هشت ورودی و هشت خروجی

رابط ارتباطی

RS232/485, LAN

رابط MES

استاندارد

اندازه فیزیکی دستگاه
(W)×(D)×(H),mm

592 * 498 * 370mm

مشخصات پورت تشخیص نشت

DN16 KF/2pcs

منبع تغذیه

DC24V

دمای عملیاتی

0-40 درجه سانتیگراد

توان

240 وات

زبان نمایش

هر دو زبان چینی و انگلیسی

نمایش نرخ نشت

شکل، نمودار میله ای، نمودار منحنی