آشکارساز نشت هلیوم پمپ خشک برای تشخیص نشت وافره SFJ-231D

آشکارساز نشت هلیوم پمپ خشک برای تشخیص نشت وافره SFJ-231D

پارامترهای فنی آشکارساز نشت هلیوم SFJ-231D

استفاده از سنجه نشت هلیوم SFJ-231Dبرای وفر

در تکنولوژی تشخیص نشت طیف جرم هلیوم، استفاده از پمپ های خشک (پمپ های خلاء خشک بدون روغن) عمدتاً به شرایط کاری تجهیزات مورد بررسی بستگی دارد.الزامات نظافت و الزامات فنی آشکارسازان نشت طیف جرم هلیوم (e.g. Wayeal SFJ-231D)

روش تشخیص: روش هلیوم پرتاب خلاء (طریق حساسیت بالا)

1: تخلیه سیستم و کالیبراسیون پایه

تخلیه به فشار پایه: اتاق حکاکی: ≤0.1Pa (پمپ خشک + پمپ مولکولی ترکیبی) ؛ اتاق CVD / PVD: ≤10-3 Pa (تعویضات بالاتر برای تجهیزات پوشش).

کالیبراسیون آشکارساز نشت: برای کالیبراسیون SFJ-231D و تأیید خطی بودن پاسخ ابزار، از یک مرجع نشت استاندارد (به عنوان مثال، 1 × 10- 7 Pa · m 3 / s) استفاده کنید.

مرحله ۲: تشخیص اسپری هلیوم

منطقه ی تشخیص: خروجی های حلقه ی O، سوراخ های بولت، مهر و موم فلزی VCR/VCO، مفاصل جوش، عایق های سرامیکی، گاسکت های مس ارتباطات "بلو"

عملیات اسپری هلیوم:

از یک تفنگ اسپری هلیوم دستی (با نوزل تنظیم دقیق 0.1 میلی متر) در فاصله 3-5 میلی متر از نقطه تشخیص استفاده کنید. با سرعت 5 سانتی متر در ثانیه حرکت کنید و 2-3 ثانیه در هر نقطه بمانید (زمان پاسخ SFJ-231D <1 ثانیه).فشار هليوم رو به صفر تنظیم کن.2-0.3MPa برای جلوگیری از اختلال جریان هوا.

مرحله سوم: تعیین و ثبت نقطه نشت

نرخ نشت: میزان نشت مجاز تجهیزات نیمه هادی: به طور معمول ≤1×10−9 Pa·m3/s (بر اساس استانداردهای SEMI).

ثبت داده ها: هنگامی که SFJ-231D حداکثر میزان نشت را نشان می دهد، نقطه نشت را با یک خودکار برجسته نشان دهید.

ذخیره منحنی نرخ نشت و داده های مکان (برآمد از طریق USB).

مرحله ۴: بازرسی و تأیید

یک اسپری هلیوم دوم را روی نشت های شناسایی شده انجام دهید تا تکرار پذیری را تأیید کنید.

بعد از ترمیم نشت های عمده، دوباره به فشار پایه تخلیه کنید و بازرسی کامل انجام دهید.