logo

آشکارساز نشت هلیوم پمپ خشک برای تشخیص نشت وافره SFJ-231D

ویژگی های اساسی
محل مبدا: Anhui, China
نام تجاری: Wayeal
گواهینامه: CE
شماره مدل: SFJ-231D
خواص معاملاتی
حداقل مقدار سفارش: 1 Unit
قیمت: Negotiate
شرایط پرداخت: T/T, VISA
توانایی تامین: 200 Units/Month
مشخصات
Communication Interface: RS232/485, LAN Leak rate display: Numbers, Bar Charts, Graphs
User Interface: 7inch Color Touch Screen Product Name: Helium Leak Detector
Mini Leak Detection Rate(Pa.m3/s)/Vaccum Mode: 5*10-13 Pa.m3/s Response Time(s): <1s
MES Interface: Standard Mini Leak Detection Rate(Pa.m3/s)/Sniffer Mode: 2.5*10-9 Pa.m3/s
High Light:

دستگاه کشف نشت هلیوم بسیار حساس

,

دستگاه شناسایی نشت هلیوم در حالت sniffer

,

نمودارها نشان دهنده آشکارساز نشت هلیوم است

توضیحات محصول

آشکارساز نشت هلیوم پمپ خشک برای تشخیص نشت وافره SFJ-231D

پارامترهای فنی آشکارساز نشت هلیوم SFJ-231D

نام محصول آشکارساز نشت هلیوم SFJ-231D
حداقل میزان نشت قابل تشخیص ((Pa·m3/s) / حالت خلاء 5.0*10-13پم3/s
حداقل میزان نشت قابل تشخیص ((Pa·m3/s) / حالت sniffer 5.0*10-9پم3/s
حداکثر فشار مجاز تشخیص نشت (Pa) 1500
زمان پاسخ <1s
زمان شروع ≤2 دقیقه
کیفیت قابل تشخیص 2،3،4 ((H2 ،He3 ،He4)
رابط انسان-ماشین صفحه لمسی LCD رنگی 7 اینچی
منبع یون دو تا، اريديوم پوشيده از اكسيد اتريوم، سوئيچ اتوماتيك
رابط ورودی/خرید I/O 8 ورودی و 8 خروجی
رابط ارتباطی RS232/485، USB*2
رابط MES استاندارد
پورت تشخیص نشت DN25KF
منبع برق AC220V، 50Hz/60Hz
دمای کار 0 تا 40 درجه سانتیگراد
زبان انگلیسی
نمایش نرخ نشت شکل، نمودار نوار، نمودار منحنی
ابعاد ۶۴۵*۶۷۸*۹۶۵ میلی متر

استفاده از سنجه نشت هلیوم SFJ-231Dبرای وفر

در تکنولوژی تشخیص نشت طیف جرم هلیوم، استفاده از پمپ های خشک (پمپ های خلاء خشک بدون روغن) عمدتاً به شرایط کاری تجهیزات مورد بررسی بستگی دارد.الزامات نظافت و الزامات فنی آشکارسازان نشت طیف جرم هلیوم (e.g. Wayeal SFJ-231D)

روش تشخیص: روش هلیوم پرتاب خلاء (طریق حساسیت بالا)

1: تخلیه سیستم و کالیبراسیون پایه

تخلیه به فشار پایه: اتاق حکاکی: ≤0.1Pa (پمپ خشک + پمپ مولکولی ترکیبی) ؛ اتاق CVD / PVD: ≤10-3 Pa (تعویضات بالاتر برای تجهیزات پوشش).

کالیبراسیون آشکارساز نشت: برای کالیبراسیون SFJ-231D و تأیید خطی بودن پاسخ ابزار، از یک مرجع نشت استاندارد (به عنوان مثال، 1 × 10- 7 Pa · m 3 / s) استفاده کنید.

مرحله ۲: تشخیص اسپری هلیوم

منطقه ی تشخیص: خروجی های حلقه ی O، سوراخ های بولت، مهر و موم فلزی VCR/VCO، مفاصل جوش، عایق های سرامیکی، گاسکت های مس ارتباطات "بلو"

عملیات اسپری هلیوم:

از یک تفنگ اسپری هلیوم دستی (با نوزل تنظیم دقیق 0.1 میلی متر) در فاصله 3-5 میلی متر از نقطه تشخیص استفاده کنید. با سرعت 5 سانتی متر در ثانیه حرکت کنید و 2-3 ثانیه در هر نقطه بمانید (زمان پاسخ SFJ-231D <1 ثانیه).فشار هليوم رو به صفر تنظیم کن.2-0.3MPa برای جلوگیری از اختلال جریان هوا.

مرحله سوم: تعیین و ثبت نقطه نشت

نرخ نشت: میزان نشت مجاز تجهیزات نیمه هادی: به طور معمول ≤1×10−9 Pa·m3/s (بر اساس استانداردهای SEMI).

ثبت داده ها: هنگامی که SFJ-231D حداکثر میزان نشت را نشان می دهد، نقطه نشت را با یک خودکار برجسته نشان دهید.

ذخیره منحنی نرخ نشت و داده های مکان (برآمد از طریق USB).

مرحله ۴: بازرسی و تأیید

یک اسپری هلیوم دوم را روی نشت های شناسایی شده انجام دهید تا تکرار پذیری را تأیید کنید.

بعد از ترمیم نشت های عمده، دوباره به فشار پایه تخلیه کنید و بازرسی کامل انجام دهید.